中国铁路建设集团公司网站,wordpress取消自适应,网站建设与实践心得,娱乐网站模板在芯片制造领域#xff0c;颗粒的存在可能对生产过程产生巨大影响。其中#xff0c;每个微小的颗粒#xff0c;无论是来自人员、设备#xff0c;还是自然环境#xff0c;都有可能在制程中引发故障#xff0c;从而对产品性能产生负面影响。这就是为什么在芯片厂中#xf…在芯片制造领域颗粒的存在可能对生产过程产生巨大影响。其中每个微小的颗粒无论是来自人员、设备还是自然环境都有可能在制程中引发故障从而对产品性能产生负面影响。这就是为什么在芯片厂中颗粒的控制和管理必须精确且严格这是保证生产质量实现尖端产品开发的基础。 什么是颗粒 在超净间颗粒通常指的是微小的物质粒子可能包括灰尘、液滴、病菌等它们可能对制造过程产生负面影响。这些颗粒可以由人、设备等产生。任何这些颗粒进入产品或设备都可能导致污染因此需要特别的控制和管理。 颗粒的尺寸 以下是一些常见颗粒的尺寸
人类头发平均直径100微米盐粒60微米花粉15微米细菌5微米病毒0.1微米新冠病毒0.06 至 0.14 微米。
ISO 14644-1:2015 将小于 0.1 微米的颗粒识别为超细颗粒将大于 5 微米的颗粒识别为大颗粒。 颗粒的危害 在芯片制造过程中尘埃颗粒或微粒可能会导致开路或短路的问题。由于芯片的特征尺寸为微米或纳米级别所以这些微粒可能对芯片的功能产生巨大影响。
开路例如在刻蚀过程中如果有颗粒附着在晶圆表面刻蚀剂就无法在颗粒覆盖的区域正常进行刻蚀这可能会导致电路中断也就是开路。此外颗粒也可能在光刻过程中引起问题如果颗粒落在光刻图案上可能会使光线无法正确地照射到晶圆上导致图案的部分细节无法正确地转移到晶圆上。 短路例如在沉积过程中如果颗粒附着在晶圆表面沉积物可能在颗粒周围形成桥梁将原本应该分开的两个导线连接起来这就是短路。如果有颗粒存在即使是最先进的沉积技术也无法防止这种桥梁的形成。 超净间的颗粒从何而来
一般来说我们在超净间中根本不会看到太多颗粒。但他们确实进入了超净间怎么进去的
人员是超净间中最大的污染物来源占发现的颗粒物的 75% 至 80%。我们不断地脱落皮肤、毛发和微生物不管我们是在坐着还是处在运动中。 我们每分钟大约脱落 40,000 个皮肤细胞。
即使我们静止不动也会产生大约 100,000 个 0.3 微米或更大的颗粒。
当我们走动时这个数字会增加到超过 5,000,000。如果不严格遵守超净间规定还会有很多潜在的污染。如果我们穿着不合适的无尘衣会导致手腕周围的皮肤暴露。这在洁净室中是一个巨大的风险因为细菌和活颗粒可能会被引入环境中。
颗粒甚至可以穿过无尘衣
因此不能保证它们能够保
护超净间
免受人体污染物的侵害。
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