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在做X 射线光电子能谱(XPS)测试时,科学指南针检测平台工作人员在与很多同学沟通中了解到,好多同学仅仅是通过文献或者师兄师姐的推荐对XPS测试有了解,但是对于其软件操作还属于小白阶段,针对此,科学指南针检测平台团队组织相关同事对网上海量知识进行整理,希望可以帮助到科研圈的伙伴们;

XPS测试后可以拿到什么数据呢?

以下列举

XPS设备使用率比较高的三家设备,

拿到的数据格式如下表

今天老师就拿到的EXCEL的数据

来讲解一下简单处理数据的过程

这里使用XPSpeaks软件

XPSpeaks分峰拟合

第一步:将数据转换为txt格式

具体操作:

将荷电校正过之后的数据Excel打开,

复制Binding Energy和Counts,

然后拷贝到一个新建的txt文件中。

关键点:

第一行要直接以数据开始,

最后一行以数据结束,

不能有空行或其他文字,

否则将无法导入XPSpeak 4.1软件中。

第二步:利用XPS peak软件导入txt文件,打开数据

具体操作如下图所示:

第三步:建立基线

具体操作:

点击菜单中Background,

在弹出来的窗口中High BE

和Low BE的数据是自动读取的,

这个数字视情况进行调整。

Background type一般选取Shirley,

基线的优化主要靠

Shirley+Linear的Slope来实现,

可以手动输入数值,

然后点击accept就可以看到基线了,

如果觉得基线不是特别好,

可以通过改变Slope的值进行调整。

举例如下图

第四步:加峰

具体操作:

点击Add peak会弹出一个新窗口,

在Peak Type处选择s、p、d、f等

峰类型(根据需要来选,不影响分峰),

S.O.S选0

在Position处输入希望的峰位,

需固定时则点fix前小方框,

同法还可选半峰宽(FWHM)

峰面积等。

设置好之后,

点击accept添加该峰。

同样的方式,

可以添加第二个峰。

对于p,d,f轨道而言,

谱线都有裂分,

裂分的峰之间存在一定的关系,

需要特别注意,以下为常见规则:

A. s能级没有分裂峰,对于p、d、f等能级的次能级(如p3/2、p1/2,为简便省略/2,简称为p3、p1)强度比是一定的,p3:p1=2:1;d5:d3=3:2,f7:f5=4:3。在峰拟合过程中要遵循该规则。如W4f中同一价态的W4f7和W4f5峰面积比应为4:3。

B.对于有能级分裂的能级(p、d、f),分裂的两个轨道间的距离也基本上是固定的. 如同一价态的W4f7和W4f5之间的距离为2.15eV左右,Si2p3和Si2p1差值为1.1eV左右,具体化学状态下能级分裂的两个轨道之间的距离会有不同。

C.对于同一元素的裂分轨道而言,其半峰宽应该尽量接近一致。对于同一仪器及仪器参数,各数据的GL高斯-洛伦兹比应保持一致(一般直接采用默认值80)。

具体操作:

以峰面积为例,

peak 1和peak 0分别对应

W 4f轨道的两个裂分能级(对应f5和f7),

那么两者之间的峰面积

存在数量关系f7:f5=4:3。

如何设置?

点击Area下的Constraints,

在弹出的窗口中,

勾上Use前的方框,

然后构建关系式Peak 1=Peak 0*0.75。

然后点击OK设置完毕。

类似的Peak1 和Peak 0

之间的Position间距也可以设置。

同样的方式,

可以添加peak 2和peak 3

(为另一对峰),

设置好它们之间的数量关系等。

然后点击Optimise All

(可以多次点击进行优化),

得到一个初步的分峰结果。

如下图所示。

第五步:手动修正

在此基础上,

手动调节峰的面积,

半峰宽等参数,

尽可能让拟合出来的数据

和原始数据重合。

在设置参数的过程中,

请谨记上面所述A,B,C等分峰规则。

具体操作:

分别点另一个窗口中的

Rigion Peaks下方的0、1、2

等可看每个峰的参数,

此时XPS峰中变红的为被选中的峰。

在弹出来的参数窗口中调整峰位置,

半峰宽,峰面积等参数,

然后点击accept。

反复调节,

尽可能让拟合出来的数据和原始数据重合。

第六步:拟合数据保存与导出

拟合完毕之后,

点击XPS peak processing 

中的Save XPS,

将拟合结果存储为.xps文件。

存储之后,

下回要继续处理时,

只需要点Open XPS

就可以打开这副图继续进行处理了。

当拟合结果满意了之后,

需要将数据导出成txt文件,

以方便在origin中作图。

具体操作:

在Region 1中,

Data-->Export(Spectrum),

导出为.dat文件。

该文件可以直接拖动到origin中,

用origin打开。

接下来就是origin作图了。

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